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题名： 集成电路工艺与设备    【搜索馆藏电子书】
索书号： TN4/B441
著者：
主题词： 微电子学、集成电路（IC）-工业技术
丛书：
出版：
ISBN：
说明： 单价：0.8元｜语种：chi｜页数：396｜开本：32开 19CM｜装订：平装｜编目日期：1996-12-28
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内容介绍：
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